微电子工艺实验室配备11个点位，每个点位包括多功能实验基础平台、实验用半导体参数分析仪、远程前置放大器及各类板卡，服务于集成电路设计与集成系统和微电子科学与工程两个专业，基本满足半导体物理、集成电路专业导论、半导体工艺与器件、集成电路光学材料与器件初探等课程的教学与实验需求。能够完成集成电路二极管器件测量与特性分析实验、扩散和退火工艺分析与应用实验、半导体中的缺陷、杂质与掺杂工艺、典型集成电路先进器件测量与特性分析实验等多个实验项目。

本实验室使用虚拟仿真实验教学产品，通过VR等手段，让学生可以真正使用产线上的昂贵设备，对学校的实验教学有很大的促进和启发。